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                      RTP-小型快速退火爐

                      更新時間: 2023-05-09

                      訪問次數: 4564

                      產品報價:

                      產品簡介: 產品應用:該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗 。

                      詳細資料:

                      產品應用:

                      該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、

                      快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗

                       

                      產品特點:

                      可在真空/氣氛/空氣等不同環境下通過快速移動爐體,加之強風冷設計,可對樣品進行快速升降溫處理;管內測溫設計,

                      溫控精度高,大升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。

                      產品名稱

                      RTP-小型快速退火爐

                      產品型號

                      RTP-G11103-K

                      額定功率

                      9KW

                      額定電壓

                      220AC 50/60Hz

                      極限溫度

                      1000°C 

                      連續工作

                      950°C(<1 小時)

                      加熱區長度

                      300mm

                      恒溫區長度

                      100mm

                      加熱元件

                      紅外燈管

                      溫度控制

                      國產程序控溫系統可編程50段程序控溫;

                      控制精度

                      ±1℃

                      石英管尺寸

                      Φ110*380MM

                      爐管材質

                      石英管

                      滑動距離

                      355mm

                      滑動方式

                      手動滑動

                      建議升溫速度

                      室溫900℃:30℃/sec
                      900℃~1000℃: 10℃/sec

                      外形尺寸

                      950 X 350 X 530 mm 

                      重量

                      45Kg

                      標準配置

                      氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。

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