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RTP-小型快速退火爐
更新時間： 2023-05-09
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產品報價：
產品簡介： 產品應用：該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗 。
詳細資料：
產品應用：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、
快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗
產品特點：
可在真空/氣氛/空氣等不同環境下通過快速移動爐體，加之強風冷設計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內測溫設計，
溫控精度高,大升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
產品名稱 | RTP-小型快速退火爐 |
產品型號 | RTP-G11103-K |
額定功率 | 9KW |
額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
極限溫度 | 1000°C |
連續工作 | 950°C(<1 小時) |
加熱區長度 | 300mm |
恒溫區長度 | 100mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國產程序控溫系統可編程50段程序控溫； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ110*380MM |
爐管材質 | 石英管 |
滑動距離 | 355mm |
滑動方式 | 手動滑動 |
建議升溫速度 | 室溫900℃：30℃/sec |
外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
重量 | 45Kg |
標準配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。 |
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