1200℃滑動雙溫區PECVD系統

產品用途：

產品專業性：

PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品組成：

PECVD系統配置：

1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統

4.真空系統（可選配中真空或高真空）  

產品特點：

生長溫度低；沉積速率快；成膜質量好，適用范圍廣，設備簡單。

天津中環電爐股份有限公司立于1993年，2015年公司進行股份制改造，更名為天津中環電爐股份有限公司。公司集研發、制造、營銷能力于一身，為眾多科研院所、大學提供實驗室電爐系統及服務并深受用戶肯定；以北大、清華、中科院各院所等為代表的客戶群體已經超過一千家，并為客戶完成科研項目做出了自己的貢獻。截至到目前，公司已經成功研發出深受用戶肯定的21個系列260多個品種的產品，同時公司的研發團隊已具備為客戶量身打造特殊需求的實驗室電爐系統的能力。二十多年以來，公司的品牌在客戶的口碑中得以不斷的成長，同時在政府的扶植下取得了可喜的榮譽。